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碳硫仪准确分析光刻机中碳化硅陶瓷原材料碳硫含量
发布时间：2023-09-04 10:46:40 点击：1534
碳硫仪这款专用于碳硫分析的仪器再次映入制造企业的眼帘。新能源的高速发展，光刻机的制造，碳化硅材料得到广泛的应用，为有效检测碳化硅含量，提供了检测方法。
碳化硅陶瓷原料的检测，针对碳化硅材料的碳元素检测，推算碳化硅的成分占比。这对于半导体产业是非常重要的。
碳化硅陶瓷是光刻机用精密陶瓷部件的选用材料。碳化硅陶瓷具有高的弹性模量和比刚度，不易变形，并且具有较高的导热系数和低的热膨胀系数，热稳定性高，因此碳化硅陶瓷是一种优良的结构材料，目前已经广泛应用于航空、航天、石油化工、机械制造、核工业、微电子工业等领域。
碳化硅材料的光刻机应用-碳硫仪检测
但是，由于碳化硅是Si-C键很强的共价键化合物，具有极高的硬度和显著的脆性，精密加工难度大；此外，碳化硅熔点高，难以实现致密、近净尺寸烧结。因此，大尺寸、复杂异形中空结构的精密碳化硅结构件的制备难度较高，限制了碳化硅陶瓷在诸如集成电路这类的高端装备制造领域中的广泛应用。目前只有日本、美国等少数几个发达国家的少数企业（如日本的Kyocera、美国的CoorsTek等）成功地将碳化硅陶瓷材料应用于集成电路制造关键装备中，如光刻机用碳化硅工件台、导轨、反射镜、陶瓷吸盘、手臂等。
除此外，碳化硅材料也在磨料、耐火材料、冶金原料中得以广泛应用，针对碳化硅材料的检测，使用创想仪器红外碳硫仪，可进行高效检测，满足广大制造企业的检测需求。
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