在光谱分析仪中，无论是光谱的定性分析还是定量分析，都要求分析方法有一定的检出限、灵敏度、准确度及速度，定性分析主要要求有较低的检出限，定量分析则主要要求有较高灵敏度和准确度，在满足上述要求前提下，满足速度要求。光谱分析的试样，有固体状态，采用不同的处理方法，才能达到上述要求。

       金属和合金这类导体作光谱分析时，由于其本身具有导电性，因此可以直接作为分析间隙的电极。受光源激发的表面必须作适当的处理，这是因为试样的表层与内部的化学成分往往有一定差异，需清除表层后，才能获得反映试样真实成分的光谱。

       1.试样表里成分差异的原因

       试样的表层与内部的成分差异通常由下列几种原因引起:

       ①锈蚀（普通钢材、有色金属）

       ②氧化皮（锻件、热扎钢材）

       ③偏析（铸件）

       ④表面覆盖层（如防锈铝表面的包铝层）

       ⑤烧损（热处理件）

       ⑥镀层、涂层、渗层

       ⑦污染

铁件锈蚀

       2.试样的加工

       不同的金属与合金应采用不同的方法加工受激表面。

       ①钢材（普通钢、耐热钢、高温合金等）可以用砂轮或砂轮片打磨出一个光洁的平面，打磨时应该注意以下几点：

       a.注意选择砂轮的材料和粒度，碳化硅砂轮不宜打磨分析硅的试样，氧化铝砂轮不宜打磨分析铝的试样。砂轮砂粒太大，加工表面粗糙，砂粒太小，加工速度太慢，一般以60”为宜。

砂轮机

       b.打磨深度足够，以保证去掉成分差异的表层。

       c.试样不可过热，不能使表面氧化。

       ②有色金属或合金（铝、铜、镁、锌、铅、锡及其合金）应用锉刀加工，或用车床、铣床加工。使用锉刀时，应一个牌号一套锉刀（一粗、一细），加工过程中应经常清除锉刀上的金属屑末，以免屑末在加工面上拖压出槽痕，同时可避免试样间的互相污染。

       各类加工完的试样，在分析前鄙要用酒精棉球进行认真的清洗。

       3.对试样的形状尺寸要求

       不同种类的光谱分析仪在对试样的形状尺寸上要求也不同，直读光谱仪试样直径25-35mm，厚度40-50mm，X荧光光谱仪试样直径需要30-50mm，厚度要大于1mm。